Hệ thống OEM DC Power System
Thông số cơ bản
- Mẫu: OEM DC Power System for Semiconductor Testing
- Mô tả khái quát: Cung cấp năng lượng để đánh bóng bằng điện tấm wafer 300mm
Tính năng OEM DC Power System
Hệ thống nguồn OEM DC OEM 6 kênh
- Khối đơn 6 kiện cho bộ cấp nguồn 600W
- Bộ điều khiển khép kín hoàn chỉnh hoạt động độc lập sau khi được thiết lập trước
- Có khả năng hoạt động phụ thuộc liên kênh
- Giao tiếp DeviceNet
- Bộ chuyển mạch phân cực trạng thái rắn